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等離子干法刻蝕機
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抗污與指紋 膜涂布設備
摘要
產品型號：PDPS001 應用于真空等離子設備
產品介紹
脈沖直流等離子電源供應器
．微處理器控制
．直流電壓輸出（ 可達１２００Ｖ?。?/span>
．具定電壓、定功率，定電流模式選擇
．電弧偵測保護
．具過電流、過電壓、高功率等保護功能
．設備穩定高，容易維護
．可依客戶需求作更改
應用行業：
真空等離子設備、半導體、光電產業及太陽能產業制程等
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