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        等離子去光阻機

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        摘要

        產品型號:PA01/PA03B
        快速去除晶圓上之殘留光阻,達到晶圓表面潔凈,蝕刻率同業較高

        產品介紹

        等離子去光阻機

        .處理均勻性佳 

        .離子能量低、不損傷基板 

        .沒有電極及基板的污染 

        .專利設計之特殊等離子電極 

        .高密度等離子源 

           ※ 等離子效率高、清潔效率高 

           ※ 可控制低的離子能量 

           ※ 結合化學反應性及物理撞擊性 

        .處理速度快、清潔效率高、可靠度高 

        .操作范圍廣 

        .可使用多種制程氣體 

        .全自動且容易操作 

        .設備穩定高,容易維護 

        .可依客戶需求作更改


        應用行業:

        .殘余光阻去除 

        .藍膜殘膠去除 

        .PSS 來料清潔制程

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        蘇州源永動電子有限公司是專業研發生產等離子清洗機、處理機及飛達產品的科技企業,生產的等離子清洗機、處理機可以完成等離子表面清洗、表面刻蝕、表面活化工藝,設備銷往江浙滬一帶,歡迎撥打熱線:13739174051。

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